如何對(duì)無(wú)塵室微粒子濃度進(jìn)行控制    上海

     無(wú)塵室無(wú)塵室的浮游微粒子濃度，若用高性能的送風(fēng)系統(tǒng)即可達(dá)到零水平，然而實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染。無(wú)塵室內(nèi)如何控制微粒子濃度呢？1、 不攜入 :人、機(jī)、料進(jìn)無(wú)塵室不攜入微粒子（1）進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等， 再

無(wú)塵室

無(wú)塵室的浮游微粒子濃度，若用高性能的送風(fēng)系統(tǒng)即可達(dá)到零水平，然而實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染。 

無(wú)塵室內(nèi)如何控制微粒子濃度呢？

1、 不攜入 :人、機(jī)、料進(jìn)無(wú)塵室不攜入微粒子 

（1）進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等， 再通過(guò)風(fēng)淋室吹淋，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完畢才能進(jìn)入無(wú)塵室。

（2）機(jī)器、材料進(jìn)無(wú)塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養(yǎng)后用純水擦拭，經(jīng)貨淋室吹淋或風(fēng)淋傳遞窗吹淋后才能進(jìn)入無(wú)塵室。 

（3）無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。 

2、不發(fā)生 :無(wú)塵室內(nèi)動(dòng)態(tài)環(huán)境下機(jī)、料的不發(fā)生控制；

在控制zui大污染源--人在無(wú)塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生 的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到zui小限度應(yīng)采取以下對(duì)策： 

（1）減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)； 

（2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)； 

（3）采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油； 

3、不儲(chǔ)備： 

現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)（動(dòng)態(tài)），無(wú)塵室要想達(dá)到動(dòng)態(tài)潔凈，因此“不儲(chǔ)備”技術(shù)快速地在過(guò)濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。 

控制氣流可防止微粒子累積，但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無(wú)塵室內(nèi)會(huì)使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對(duì)于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn) 行除電。 

4、排除/除去 

在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中，為了不讓無(wú)塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：  

由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。所以無(wú)法說(shuō)是理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無(wú)塵室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無(wú)塵室內(nèi)之對(duì)策。